可改善LeTID現(xiàn)象的P型單晶PERC電池及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910972959.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111029436B 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN111029436B 申請公布日 2021-09-21
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0216（2014.01）I;H01L31/054（2014.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 康海濤;郭萬武;吳中亞 申請（專利權(quán)）人 中建材浚鑫科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 代理人 張霞
地址 214400江蘇省無錫市江陰市申港鎮(zhèn)鎮(zhèn)澄路1011號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種可改善LeTID現(xiàn)象的P型單晶PERC電池的制作方法，包括如下步驟：步驟S1，表面織構(gòu)；步驟S2，高溫磷擴(kuò)散；步驟S3，周邊刻蝕及背面拋光；步驟S4，正、背面二氧化硅層制備；步驟S5，背面氧化鋁層制備；步驟S6，背面碳氮化硅層制備；步驟S7，背面氮氧化硅疊層制備；步驟S8，正面氮氧化硅層制備；步驟S9，背面激光開槽；步驟S10，正、背面電極制備。本發(fā)明通過改變電池膜層結(jié)構(gòu)、制作原材料及相應(yīng)的工藝優(yōu)化方法來減少氫源來源，降低太陽能電池片中的多余氫原子，達(dá)到改善太陽能電池LeTID現(xiàn)象的技術(shù)效果。