一種雙模式MEMS氣體傳感器及其工作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911262205.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110988051A 公開（公告）日 2020-04-10
申請公布號 CN110988051A 申請公布日 2020-04-10
分類號 G01N27/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 雷鳴;劉曰利;饒吉磊;詹歡歡;熊艷 申請（專利權(quán)）人 武漢微納傳感技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢藍(lán)寶石專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 武漢微納傳感技術(shù)有限公司
地址 430000 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)武大園路5-1號國家地球空間信息產(chǎn)業(yè)基地南主樓1單元4層01號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種雙模式MEMS氣體傳感器，包括襯底、第一絕緣支撐層、電阻加熱層、第二絕緣支撐層、溫度感測電極、第一叉指電極、第二叉指電極、摻雜貴金屬催化劑金屬氧化物半導(dǎo)體材料及微控器；第一絕緣支撐層設(shè)置在襯底上，電阻加熱層設(shè)置在第一絕緣支撐層上，第二絕緣支撐層覆蓋在電阻加熱層上。第一叉指電極、第二叉指電極和溫度感測電極設(shè)置在第二絕緣支撐層上。摻雜貴金屬催化劑金屬氧化物半導(dǎo)體材料覆蓋在第一叉指電極、第二叉指電極和溫度感測電極上。溫度感測電極位于第一叉指電極和第二叉指電極之間。本發(fā)明提供的雙模式MEMS氣體傳感器，可對環(huán)境中各種濃度有毒有害氣體和可燃?xì)怏w進(jìn)行有效檢測。