一種雙模式MEMS氣體傳感器及其工作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911262205.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110988051A | 公開（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110988051A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-04-10 |
| 分類號(hào) | G01N27/12 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 雷鳴;劉曰利;饒吉磊;詹歡歡;熊艷 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 武漢微納傳感技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 武漢藍(lán)寶石專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 武漢微納傳感技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 430000 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)武大園路5-1號(hào)國(guó)家地球空間信息產(chǎn)業(yè)基地南主樓1單元4層01號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種雙模式MEMS氣體傳感器，包括襯底、第一絕緣支撐層、電阻加熱層、第二絕緣支撐層、溫度感測(cè)電極、第一叉指電極、第二叉指電極、摻雜貴金屬催化劑金屬氧化物半導(dǎo)體材料及微控器；第一絕緣支撐層設(shè)置在襯底上，電阻加熱層設(shè)置在第一絕緣支撐層上，第二絕緣支撐層覆蓋在電阻加熱層上。第一叉指電極、第二叉指電極和溫度感測(cè)電極設(shè)置在第二絕緣支撐層上。摻雜貴金屬催化劑金屬氧化物半導(dǎo)體材料覆蓋在第一叉指電極、第二叉指電極和溫度感測(cè)電極上。溫度感測(cè)電極位于第一叉指電極和第二叉指電極之間。本發(fā)明提供的雙模式MEMS氣體傳感器，可對(duì)環(huán)境中各種濃度有毒有害氣體和可燃?xì)怏w進(jìn)行有效檢測(cè)。 |
