一種錳摻雜二氧化鈦納米管陣列膜及氣敏元件以及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710327503.3 申請日 -
公開(公告)號 CN107268061B 公開(公告)日 2019-01-25
申請公布號 CN107268061B 申請公布日 2019-01-25
分類號 C25D11/26;B82Y40/00;G01N27/00;G01N33/00 分類 電解或電泳工藝;其所用設備〔4〕;
發(fā)明人 趙春霞;徐周;邵林清;陳文;金偉 申請(專利權(quán))人 武漢微納傳感技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 代理人 武漢理工大學;武漢微納傳感技術(shù)有限公司
地址 430070 湖北省武漢市洪山區(qū)珞獅路122號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種錳摻雜二氧化鈦納米管陣列膜及氣敏元件以及其制備方法。本發(fā)明是以陽極氧化法原位制備錳摻雜二氧化鈦納米管陣列膜,通過熱處理結(jié)合陽極氧化將其剝離,并轉(zhuǎn)移至陶瓷管上制作成氣敏元件。本發(fā)明制備過程簡單、成本較低、工藝參數(shù)便于控制,制備的錳摻雜二氧化鈦納米管陣列膜結(jié)構(gòu)規(guī)整,納米管尺寸均一,光學帶隙降低,氣敏性能顯著提升。