一種催化燃燒式MEMS氣體傳感器及其工作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911261234.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110988049A 公開（公告）日 2020-04-10
申請公布號 CN110988049A 申請公布日 2020-04-10
分類號 G01N27/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 雷鳴;劉曰利;饒吉磊;詹歡歡;熊艷 申請（專利權）人 武漢微納傳感技術有限公司
代理機構 武漢藍寶石專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 武漢微納傳感技術有限公司
地址 430000 湖北省武漢市東湖新技術開發(fā)區(qū)武大園路5-1號國家地球空間信息產(chǎn)業(yè)基地南主樓1單元4層01號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種催化式MEMS氣體傳感器及其工作方法，傳感器包括襯底、第一絕緣支撐層、電阻加熱層、第二絕緣支撐層、溫度感測電極層、催化材料層及微控器。第一絕緣支撐層設置在襯底上，電阻加熱層設置在第一絕緣支撐層上，第二絕緣支撐層覆蓋在電阻加熱層上；溫度感測電極層設置在第二絕緣支撐層上，催化材料層附著在溫度感測電極層和第二絕緣支撐層加熱工作區(qū)域上部；微控器設置在襯底上。方法包括：控制微控器得到加熱電阻層、溫度感測電極層的加熱功率及加熱溫度；控制電阻加熱層工作溫度恒定；氣體傳感器周期性工作在恒定低溫、恒定中溫、恒定高溫下。本發(fā)明提供的催化燃燒式MEMS氣體傳感器及其工作方法，傳感器響應時間快、功耗低、成本低。