一種催化燃燒式MEMS氣體傳感器及其工作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911261234.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110988049A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110988049A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-04-10 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N27/12 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 雷鳴;劉曰利;饒吉磊;詹歡歡;熊艷 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 武漢微納傳感技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 武漢藍(lán)寶石專(zhuān)利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 武漢微納傳感技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 430000 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)武大園路5-1號(hào)國(guó)家地球空間信息產(chǎn)業(yè)基地南主樓1單元4層01號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種催化式MEMS氣體傳感器及其工作方法，傳感器包括襯底、第一絕緣支撐層、電阻加熱層、第二絕緣支撐層、溫度感測(cè)電極層、催化材料層及微控器。第一絕緣支撐層設(shè)置在襯底上，電阻加熱層設(shè)置在第一絕緣支撐層上，第二絕緣支撐層覆蓋在電阻加熱層上；溫度感測(cè)電極層設(shè)置在第二絕緣支撐層上，催化材料層附著在溫度感測(cè)電極層和第二絕緣支撐層加熱工作區(qū)域上部；微控器設(shè)置在襯底上。方法包括：控制微控器得到加熱電阻層、溫度感測(cè)電極層的加熱功率及加熱溫度；控制電阻加熱層工作溫度恒定；氣體傳感器周期性工作在恒定低溫、恒定中溫、恒定高溫下。本發(fā)明提供的催化燃燒式MEMS氣體傳感器及其工作方法，傳感器響應(yīng)時(shí)間快、功耗低、成本低。 |
