一種金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201711447455.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN108362740B | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-08-03 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108362740B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-08-03 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N27/12(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 雷鳴;饒吉磊;賀方杰 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 武漢微納傳感技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 武漢微納傳感技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 430000湖北省武漢市東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)武大園路5-1號(hào)國(guó)家地球空間信息產(chǎn)業(yè)基地南主樓1單元4層01號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器及其制作方法，包括：由下往上依次層疊的微熱盤(pán)、絕緣隔離層和敏感電極，以及覆蓋在敏感電極上方的氣體敏感材料，敏感電極位于微熱盤(pán)表面的絕緣隔離層上方，包括：第一敏感電極、第二敏感電極和懸置敏感電極，懸置敏感電極位于第一敏感電極和第二敏感電極之間。本發(fā)明提供的一種金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器，通過(guò)在兩敏感電極之間引入懸置敏感電極，改善了電場(chǎng)強(qiáng)度分布、微熱盤(pán)發(fā)熱區(qū)的溫度分布、氣體傳感器的靈敏度和氣體傳感器長(zhǎng)期穩(wěn)定性，該氣體傳感器可以長(zhǎng)時(shí)間承受較高的工作電壓，工作可靠性顯著提高，適用于產(chǎn)品進(jìn)一步小型化。?? |
