一種帶溫度感測功能的MEMS氣體傳感器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911262199.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110988050A 公開（公告）日 2020-04-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN110988050A 申請(qǐng)公布日 2020-04-10
分類號(hào) G01N27/12;G01K7/16 分類 測量；測試;
發(fā)明人 雷鳴;劉曰利;饒吉磊;詹歡歡;熊艷 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 武漢微納傳感技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢藍(lán)寶石專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 武漢微納傳感技術(shù)有限公司
地址 430000 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)武大園路5-1號(hào)國家地球空間信息產(chǎn)業(yè)基地南主樓1單元4層01號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種帶溫度感測功能的MEMS氣體傳感器，包括：襯底、第一絕緣支撐層、電阻加熱層、第二絕緣支撐層、第一叉指電極、第二叉指電極、溫度感測電極及氣敏材料層；第一絕緣支撐層設(shè)置在襯底上，電阻加熱層設(shè)置在第一絕緣支撐層上，第二絕緣支撐層覆蓋在電阻加熱層上；第一叉指電極、第二叉指電極和溫度感測電極設(shè)置在第二絕緣支撐層上；氣敏材料層覆蓋在第一叉指電極、第二叉指電極和溫度感測電極上；第一叉指電極、第二叉指電極和溫度感測電極位于同一層內(nèi)，溫度感測電極位于第一叉指電極和第二叉指電極之間。本發(fā)明提供的帶溫度感測功能的MEMS氣體傳感器，電阻加熱層在壽命周期內(nèi)不需要長時(shí)間承受較大電流的沖擊，可解決電阻老化的技術(shù)問題。