一種正裝GaN基LED微顯示器件及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811409855.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109560100B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109560100B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | H01L21/762(2006.01)I;H01L33/48(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;H01L27/15(2006.01)I;H01L21/76(2006.01)I;H01L33/64(2010.01)I;H01L33/38(2010.01)I;H01L33/46(2010.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 閆曉密;張秀敏;華斌;王書宇;田媛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇新廣聯(lián)科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無(wú)錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 曹祖良 |
| 地址 | 214192江蘇省無(wú)錫市錫山經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)團(tuán)結(jié)北路18號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明屬于LED微顯示屏技術(shù)領(lǐng)域，提供一種正裝GaN基LED微顯示器件及其制作方法，包括藍(lán)寶石襯底，在藍(lán)寶石襯底正面設(shè)有若干個(gè)呈陣列分布的LED微顯示單元，LED微顯示單元間通過(guò)絕緣SU膠隔開(kāi)；LED微顯示單元包括位于藍(lán)寶石襯底上的緩沖層、N?GaN層、多量子阱、P?GaN層和透明導(dǎo)電層，在N?GaN層上設(shè)有N電極，在N電極和絕緣SU膠上設(shè)有SiO絕緣層，SiO絕緣層上P電極，P電極穿過(guò)SiO絕緣層與透明導(dǎo)電層接觸；在藍(lán)寶石襯底背面設(shè)有布拉格反射鏡DBR；本發(fā)明的微顯示器件在LED單元隔離槽內(nèi)填充較厚的絕緣SU8膠，避免了因電極應(yīng)力因素導(dǎo)致的斷路，保證了LED微顯示器件的穩(wěn)定性；同時(shí)背面采用布拉格反射鏡DBR，使得器件的出光率更好。?? |
