一種貼面元器件的側(cè)面裂紋檢查用的子母盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022592314.9 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN214150402U 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號(hào) CN214150402U 申請公布日 2021-09-07
分類號(hào) G01N21/01（2006.01）I;G01N21/88（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 汪良恩;楊華;田孝強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 安徽安美半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海華誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳國俊
地址 247100安徽省池州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)富安電子信息產(chǎn)業(yè)園10號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種貼面元器件的側(cè)面裂紋檢查用的子母盤，屬于半導(dǎo)體器件加工輔助設(shè)備領(lǐng)域。包括母盤和子盤，所述母盤為一方形盒體，盒體的周邊三面設(shè)有擋邊，另一面為敞口，盒體內(nèi)設(shè)有與敞口一面平行的若干均布的溝槽，溝槽兩側(cè)擋邊上設(shè)有定位孔，所述子盤設(shè)有基座，基座上設(shè)有若干均布的凸塊，凸塊之間形成的溝槽與母盤上溝槽一一對應(yīng)，所述子盤上還設(shè)有與母盤上定位孔相配合的定位銷，所述子盤倒扣在母盤上形成可容納貼面元器件的組合溝槽；本實(shí)用新型通過母盤和子盤切換配合使用，可以很方便地對貼面元器件的兩側(cè)面進(jìn)行觀察轉(zhuǎn)換，解決了現(xiàn)有檢查人員目測不易發(fā)現(xiàn)貼面元器件側(cè)面裂紋的問題。