光蝕刻用復(fù)合顯影液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310134759.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103197516A 公開(kāi)（公告）日 2013-07-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN103197516A 申請(qǐng)公布日 2013-07-10
分類(lèi)號(hào) G03F7/32(2006.01)I 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 徐雅玲;黃源;尹云艦;羅江 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 合肥格林達(dá)電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州求是專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 代理人 合肥格林達(dá)電子材料有限公司
地址 230012 安徽省合肥市瑤海區(qū)張洼路新站區(qū)工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種光蝕刻用復(fù)合顯影液，主要應(yīng)用于窄線寬的集成電路和高分辨率薄膜晶體管液晶顯示器領(lǐng)域，其組成比例為：包含重量百分比為0.1-25%TMAH和0.1-25%TEAH，其余為水；TMAH與TEAH的重量比在3-5:1。本發(fā)明復(fù)合顯影液可顯著改善顯影品質(zhì)，降低圖案坍塌風(fēng)險(xiǎn)，并能有效改善顯影穩(wěn)定性，提高顯影效率。