一種光蝕刻顯影液的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310134754.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103197515A 公開(kāi)（公告）日 2013-07-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN103197515A 申請(qǐng)公布日 2013-07-10
分類(lèi)號(hào) G03F7/32(2006.01)I 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 徐雅玲;黃源;尹云艦 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 合肥格林達(dá)電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州求是專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 代理人 合肥格林達(dá)電子材料有限公司
地址 230012 安徽省合肥市瑤海區(qū)張洼路新站區(qū)工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種光蝕刻顯影液的制備方法，本發(fā)明通過(guò)混合一定比例的三甲胺，三乙胺，和碳酸二甲酯，合成四甲基銨和三乙基單甲基銨碳酸單甲酯混合物中間體。然后經(jīng)過(guò)水解，純化，電解工序得到四甲基氫氧化銨和三乙基單甲基氫氧化銨混合銨顯影液溶液。同時(shí)也可通過(guò)加入碳酸二乙酯得到更多種類(lèi)烷基結(jié)構(gòu)的烷基氫氧化銨水溶液。所得到的不同鏈長(zhǎng)結(jié)構(gòu)的烷基氫氧化銨混合銨顯影液具有生產(chǎn)價(jià)格低，工藝簡(jiǎn)單，金屬含量低，適合細(xì)精度窄線(xiàn)寬要求的短波長(zhǎng)光源工藝的顯影需求。