一種用于平板顯示器中制備ITO透明電極的刻蝕液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200610005365.9 申請日 -
公開（公告）號 CN101003736A 公開（公告）日 2007-07-25
申請公布號 CN101003736A 申請公布日 2007-07-25
分類號 C09K13/04(2006.01);C23F1/16(2006.01);H01J9/02(2006.01) 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應用;
發(fā)明人 郭太良;張永愛;雷曉陽 申請（專利權）人 廈門火炬福大顯示技術有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 361006福建省廈門市廈門火炬開發(fā)區(qū)火炬大廈南五樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種用于平板顯示器中制備ITO透明電極的刻蝕液，它包含鹽酸HCl和水，其特征是它還包含一定量的抑制劑和氧化劑，且它們之間按如下比例(重量比)配制：HCl∶H2O∶抑制劑∶氧化劑＝7∶1.7∶1.0～1.7∶0.09～0.12本發(fā)明由于在刻蝕液中加入一定的抑制劑和氧化劑，使得刻蝕液可以在常溫下刻蝕ITO膜，且刻蝕后的ITO電極鉆蝕較小，邊緣平滑整齊，同時不影響匯流電極中的金屬電極，從而大大提高匯流電極的發(fā)射能力，提高平板顯示器的顯象質量。此外，本發(fā)明在刻蝕過程中由于受抑制劑的作用，鹽酸溶液不易揮發(fā)，從而使環(huán)境不受污染。