一種FED薄膜型金屬電極的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200610005364.4 申請日 -
公開(公告)號 CN101004993A 公開(公告)日 2007-07-25
申請公布號 CN101004993A 申請公布日 2007-07-25
分類號 H01J9/02(2006.01) 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭太良;張永愛;雷曉陽 申請(專利權(quán))人 廈門火炬福大顯示技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 361006福建省廈門市廈門火炬開發(fā)區(qū)火炬大廈南五樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種FED薄膜型金屬電極的制備方法,通過改變光刻膠的固膜溫度及時間,使光刻膠與玻璃基板附著力更好,可以在堿性溶液中刻蝕,并且刻蝕過程容易控制,有效地克服了金屬電極的鉆蝕現(xiàn)象,大大提高了平板顯示器的顯像質(zhì)量,該方法實(shí)現(xiàn)簡單,又不需要特制的光刻膠就能實(shí)現(xiàn)平板顯示器件中的金屬電極的制備。