一種單晶爐爐底冷卻裝置及單晶爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021495027.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213417069U 公開（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN213417069U 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類號(hào) C30B15/00;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 劉杰;馬自成 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川永祥硅材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李寧
地址 614000 四川省樂山市五通橋區(qū)金粟鎮(zhèn)十字街8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種單晶爐爐底冷卻裝置和單晶爐，其中單晶爐爐底冷卻裝置包括爐底盤和設(shè)置于爐底盤上的排氣管和電極，還包括用于冷卻水流入的進(jìn)水主管和用于冷卻水流出的出水主管，以及多個(gè)進(jìn)水分管和出水分管；其中任意一個(gè)排氣管的一端均通過任意一個(gè)進(jìn)水分管與進(jìn)水主管相連，另一端均通過任意一個(gè)出水分管與出水主管相連；任意一個(gè)電極的一端均通過任意一個(gè)進(jìn)水分管與進(jìn)水主管相連，另一端均通過任意一個(gè)出水分管與出水主管相連。該裝置能夠均勻的冷卻單晶爐爐底的排氣管及電極，既能保證設(shè)備的安全性，又能避免氧化物聚集堵塞管道，從而有效保證了生產(chǎn)的順利進(jìn)行。