一種硅片清洗廢水處理系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011608724.6 申請日 -
公開(公告)號(hào) CN112775089A 公開(公告)日 2021-05-11
申請公布號(hào) CN112775089A 申請公布日 2021-05-11
分類號(hào) B08B3/04;B08B3/12;B08B13/00 分類 清潔;
發(fā)明人 馬菲;馬自成;張軍 申請(專利權(quán))人 四川永祥硅材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李赫
地址 614800 四川省樂山市五通橋區(qū)竹根鎮(zhèn)永祥路100號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片清洗廢水處理系統(tǒng),包括連通于清洗機(jī)下游的溢流槽組,所述溢流槽組包括若干漂洗槽、藥洗槽和超聲槽,所述漂洗槽的下游連通有中轉(zhuǎn)槽,所述中轉(zhuǎn)槽的下游連通有泵送管路,所述泵送管路上設(shè)置有供水泵,所述泵送管路的下游分別連通有與脫膠機(jī)連通的第一主管路和與插片機(jī)連通的第二主管路,所述第一主管路與所述第二主管路相并聯(lián)。該系統(tǒng)能夠充分回收利用清洗機(jī)排放的廢水,有效避免資源浪費(fèi)并降低廢水排放壓力,同時(shí)能夠?yàn)槊撃z機(jī)供水,且其水溫能夠滿足脫膠機(jī)的工作需求。