一種單晶爐配套設備撬裝裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023234404.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213951416U 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN213951416U 申請公布日 2021-08-13
分類號 C30B35/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 楊剛;楊佩均;馬自成;張軍 申請（專利權）人 四川永祥硅材料有限公司
代理機構 成都欣圣知識產權代理有限公司 代理人 王海文
地址 614000 四川省樂山市五通橋區(qū)金粟鎮(zhèn)十字街8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種單晶爐配套設備撬裝裝置，包括：底座，可移動，起承載作用；真空泵，安裝于底座前部，設有吸氣管路和排氣管路；振動過濾器，安裝于底座中部，包括進氣口和排氣口，進氣口經管路與單晶爐連接，排氣口與真空泵的吸氣管路連接；液壓系統(tǒng)柜，安裝于底座的后部，用于驅動單晶爐上的提升機構；控制箱，安裝于底座的后部，與真空泵、振動過濾器和液壓系統(tǒng)柜電性連接；其中，真空泵、振動過濾器、液壓系統(tǒng)柜和控制箱均定位固定安裝于底座上。該撬裝裝置實現單晶爐各配套設備的標準化模塊化布局，管道線路分布合理，方便安裝、拆換，便于后期維護，整體布局統(tǒng)一，增加車間布局美觀性和空間利用率。