一種單晶爐配套設(shè)備撬裝裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023234404.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213951416U 公開(kāi)（公告）日 2021-08-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN213951416U 申請(qǐng)公布日 2021-08-13
分類號(hào) C30B35/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 楊剛;楊佩均;馬自成;張軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川永祥硅材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都欣圣知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王海文
地址 614000 四川省樂(lè)山市五通橋區(qū)金粟鎮(zhèn)十字街8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種單晶爐配套設(shè)備撬裝裝置，包括：底座，可移動(dòng)，起承載作用；真空泵，安裝于底座前部，設(shè)有吸氣管路和排氣管路；振動(dòng)過(guò)濾器，安裝于底座中部，包括進(jìn)氣口和排氣口，進(jìn)氣口經(jīng)管路與單晶爐連接，排氣口與真空泵的吸氣管路連接；液壓系統(tǒng)柜，安裝于底座的后部，用于驅(qū)動(dòng)單晶爐上的提升機(jī)構(gòu)；控制箱，安裝于底座的后部，與真空泵、振動(dòng)過(guò)濾器和液壓系統(tǒng)柜電性連接；其中，真空泵、振動(dòng)過(guò)濾器、液壓系統(tǒng)柜和控制箱均定位固定安裝于底座上。該撬裝裝置實(shí)現(xiàn)單晶爐各配套設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)化模塊化布局，管道線路分布合理，方便安裝、拆換，便于后期維護(hù)，整體布局統(tǒng)一，增加車間布局美觀性和空間利用率。