一種單晶爐預(yù)埋式安裝結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023173305.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213925134U 公開(kāi)（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN213925134U 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) C30B35/00 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 楊剛;楊佩均;馬自成 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川永祥硅材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都欣圣知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王海文
地址 614000 四川省樂(lè)山市五通橋區(qū)金粟鎮(zhèn)十字街8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種單晶爐預(yù)埋式安裝結(jié)構(gòu),涉及單晶爐設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。該單晶爐預(yù)埋式安裝結(jié)構(gòu)包括單晶爐、基架和基座。單晶爐安裝在基架上，基架固定在基座的頂部?；囊粋?cè)沿其高度方向開(kāi)設(shè)有容納口，回水管和進(jìn)水管橫向嵌設(shè)在容納口內(nèi)，主抽空管豎直地嵌設(shè)在容納口內(nèi)，回水管和進(jìn)水管分別位于主抽空管的左右兩側(cè)?；鶅?nèi)預(yù)置有電源控制箱，電源控制箱的輸入端電性連接有電源線和信號(hào)線路，電源控制箱的輸出端電性連接有電源柜接口、真空泵接口、過(guò)濾罐接口和液壓站接口。優(yōu)化后的管路和線路的布局可以提高設(shè)備的維修效率，減少管路的彎折現(xiàn)象，杜絕因管路引起的爐臺(tái)故障和安全事故隱患。