一種硅片及硅片的檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022617751.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213546328U 公開（公告）日 2021-06-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN213546328U 申請(qǐng)公布日 2021-06-25
分類號(hào) H01L31/0352;H01L21/66;H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張軍;馬自成 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川永祥硅材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都欣圣知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王海文
地址 614000 四川省樂山市五通橋區(qū)金粟鎮(zhèn)十字街8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種硅片及硅片的檢測(cè)裝置，硅片為方形薄片，其厚度≤180μm，寬度≥166mm，四個(gè)角為倒角或直角。檢測(cè)裝置包括：傳輸線；紅外成像檢測(cè)箱，設(shè)于傳輸線上，對(duì)硅片進(jìn)行紅外線檢測(cè)；下料機(jī)構(gòu)，位于紅外成像檢測(cè)箱下游，用于抓取、下料；及控制器；其中，下料機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌、滑座、抓手、第一驅(qū)動(dòng)件和第二驅(qū)動(dòng)件，滑座裝于導(dǎo)軌上，由第一驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)沿導(dǎo)軌往復(fù)移動(dòng)；第二驅(qū)動(dòng)件裝于滑座上，與抓手連接，驅(qū)動(dòng)抓手上下運(yùn)動(dòng)；控制器與傳輸線、紅外成像檢測(cè)箱、第一驅(qū)動(dòng)件和第二驅(qū)動(dòng)件電性連接。該硅片出片率高、成本低、轉(zhuǎn)化率高，其電池片產(chǎn)品功率趨于一致，可減少產(chǎn)品品類；采用紅外線無接觸檢測(cè)，保證產(chǎn)品質(zhì)量，避免二次損傷。