一種基于樣板治具薄膜對曝光治具薄膜的檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510801228.5 申請日 -
公開（公告）號 CN105334706B 公開（公告）日 2017-12-19
申請公布號 CN105334706B 申請公布日 2017-12-19
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 張文和 申請（專利權）人 黃石滬士電子有限公司
代理機構 武漢河山金堂專利事務所（普通合伙） 代理人 黃石滬士電子有限公司
地址 435000 湖北省黃石市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)黃金山工業(yè)新區(qū)金山大道81號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種基于樣板治具薄膜對曝光治具薄膜的檢測方法，包括如下步驟：S1、在曝光機中設置漲縮閾值；S2、將樣板治具薄膜與曝光治具薄膜邊緣對齊、并層疊設置在曝光機上；S3、曝光機分別對樣板治具薄膜與曝光治具薄膜上的光學靶點進行自動抓取，并進行距離運算比對，如果曝光治具薄膜上的光學靶點相對樣板治具薄膜上的光學靶點的差異小于漲縮閾值，則曝光治具薄膜能夠用于PCB板的曝光工藝中，反之則不合格。本發(fā)明的檢測方法操作簡單、方便，有利于提高檢測效率，且直接利用曝光機上的裝置進行檢測，降低了檢測成本，同時可一定程度提高曝光治具薄膜的品質(zhì)。