氮氧傳感器陶瓷芯片氣敏性的測(cè)試方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810642471.0 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN108872349B 公開(公告)日 2018-11-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN108872349B 申請(qǐng)公布日 2018-11-23
分類號(hào) G01N27/416(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 孫衛(wèi)龍;魏勇建;賀立龍;周妤;錢璐;秦雄雄;付研博;吳垠昊 申請(qǐng)(專利權(quán))人 西安創(chuàng)研電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安永生專利代理有限責(zé)任公司 代理人 西安創(chuàng)研電子科技有限公司
地址 710065陜西省西安市雁塔區(qū)電子西街3號(hào)201-301廠房東配樓1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種氮氧傳感器陶瓷芯片氣敏性的測(cè)試方法及裝置,依次檢測(cè)氮氧傳感器陶瓷芯片主泵、輔助泵、測(cè)量泵的氣敏性,根據(jù)檢測(cè)對(duì)象,配置出相應(yīng)濃度的氧氣;將氮氧傳感器陶瓷芯片加熱到合適的工作溫度,再向待測(cè)氮氧傳感器陶瓷芯片主泵或輔助泵或測(cè)量泵的氧泵加載漸變的電壓,測(cè)試該氧泵電流和氧濃差電勢(shì);根據(jù)氧泵電壓和氧泵電流以及氧濃差電勢(shì),判斷氮氧傳感器陶瓷芯片主泵或輔助泵或測(cè)量泵氧泵的泵氧能力和反應(yīng)空腔氧氣濃度的能力。本發(fā)明具有工作效率高、節(jié)省人力、對(duì)待測(cè)芯片無損傷的優(yōu)點(diǎn)。??