氮氧傳感器陶瓷芯片氣敏性的測試方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810642471.0 申請日 -
公開（公告）號 CN108872349A 公開（公告）日 2018-11-23
申請公布號 CN108872349A 申請公布日 2018-11-23
分類號 G01N27/416 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫衛(wèi)龍;魏勇建;賀立龍;周妤;錢璐;秦雄雄;付研博;吳垠昊 申請（專利權(quán)）人 西安創(chuàng)研電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安永生專利代理有限責(zé)任公司 代理人 西安創(chuàng)聯(lián)電氣科技（集團(tuán)）有限責(zé)任公司;西安創(chuàng)研電子科技有限公司
地址 710065 陜西省西安市高新區(qū)電子工業(yè)園電子西街3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種氮氧傳感器陶瓷芯片氣敏性的測試方法及裝置，依次檢測氮氧傳感器陶瓷芯片主泵、輔助泵、測量泵的氣敏性，根據(jù)檢測對象，配置出相應(yīng)濃度的氧氣；將氮氧傳感器陶瓷芯片加熱到合適的工作溫度，再向待測氮氧傳感器陶瓷芯片主泵或輔助泵或測量泵的氧泵加載漸變的電壓，測試該氧泵電流和氧濃差電勢；根據(jù)氧泵電壓和氧泵電流以及氧濃差電勢，判斷氮氧傳感器陶瓷芯片主泵或輔助泵或測量泵氧泵的泵氧能力和反應(yīng)空腔氧氣濃度的能力。本發(fā)明具有工作效率高、節(jié)省人力、對待測芯片無損傷的優(yōu)點(diǎn)。