一種氮氧化物傳感器陶瓷芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810622527.6 申請日 -
公開（公告）號 CN109001284B 公開（公告）日 2018-12-14
申請公布號 CN109001284B 申請公布日 2018-12-14
分類號 G01N27/41(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫衛(wèi)龍;萬筱怡;賀立龍;楊睿;武巧莉;洪向東 申請（專利權(quán)）人 西安創(chuàng)聯(lián)電氣科技（集團）有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 西安永生專利代理有限責(zé)任公司 代理人 西安創(chuàng)聯(lián)電氣科技（集團）有限責(zé)任公司
地址 710065陜西省西安市高新區(qū)電子工業(yè)園電子西街3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種氮氧化物傳感器陶瓷芯片，第一層膜片上設(shè)表面覆蓋保護層的氧泵正極，氧泵正極和第一層膜片上設(shè)有采集腔，第二層膜片上設(shè)第二通孔～第四通孔，第二通孔內(nèi)設(shè)第一擴散障，第一擴散障將第二通孔分成第一測量室和緩沖腔，第一測量室內(nèi)設(shè)主氧泵負極，第二通孔與第三通孔間設(shè)第二擴散障，第三通孔為第二測量室內(nèi)設(shè)輔助泵負極，第三通孔與第四通孔間設(shè)第三擴散障，第四通孔為第三測量室內(nèi)設(shè)表面覆蓋保護層的測量電極，第三層膜片上設(shè)有參比通道，參比通道內(nèi)設(shè)表面覆蓋保護層的參比電極，第四層膜片與第五層膜片之間設(shè)包裹在加熱電極絕緣層內(nèi)的加熱電極，加熱電極外引線穿過第五層膜片位于第五層膜片下表面，第五層膜片設(shè)有填充加熱電極絕緣層漿料的應(yīng)力釋放孔。??