一種多通道熒光光纖溫度變送器及測(cè)溫方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011611445.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112629699A 公開(kāi)（公告）日 2021-04-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN112629699A 申請(qǐng)公布日 2021-04-09
分類號(hào) G01K11/32 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張文松;邵飛;胡波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安和其光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 董娜
地址 710119 陜西省西安市高新區(qū)新型工業(yè)園西部大道60號(hào)11號(hào)樓301、302室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種多通道熒光光纖溫度變送器及測(cè)溫方法，解決現(xiàn)有對(duì)等離子體刻蝕機(jī)靜電吸盤(pán)的測(cè)溫方式，存在測(cè)量誤差大、精度低的問(wèn)題。方法包括步驟：1)M個(gè)光源發(fā)生器進(jìn)行第1次發(fā)光激發(fā)；2)關(guān)閉M個(gè)光源發(fā)生器，M個(gè)測(cè)溫單元光傳感器進(jìn)行第i次激發(fā)光的信號(hào)采樣，i＝1，數(shù)據(jù)處理單元對(duì)光傳感器獲得的采樣值處理，獲得M個(gè)第i次溫度數(shù)據(jù)；3)M個(gè)光源發(fā)生器進(jìn)行第i+1次發(fā)光激發(fā)；4)關(guān)閉M個(gè)光源發(fā)生器，M個(gè)測(cè)溫單元的光傳感器進(jìn)行第i+1次激發(fā)光的信號(hào)采樣，數(shù)據(jù)處理單元對(duì)光傳感器獲得的采樣值處理，獲得M個(gè)第i+1次溫度數(shù)據(jù)；同時(shí)，數(shù)據(jù)處理單元對(duì)M個(gè)第i次溫度數(shù)據(jù)進(jìn)行濾波并輸出；5)令i＝i+1，返回步驟3)，直至測(cè)溫結(jié)束。