一種片上平面式微型電離真空傳感器和制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010019531.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111141448B 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號 CN111141448B 申請公布日 2021-10-19
分類號 G01N27/70（2006.01）I;G01L21/30（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊威;劉文超;魏賢龍 申請（專利權(quán)）人 北京大學（天津濱海）新一代信息技術(shù)研究院
代理機構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 付婧
地址 300452天津市濱海新區(qū)中心商務(wù)區(qū)于家堡金融區(qū)雙創(chuàng)大廈25層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種片上平面式微型電離真空傳感器和制造方法，包括：位于同一襯底上的電子源和多個環(huán)形電極；所述電子源，用于發(fā)射電子；多個所述環(huán)形電極環(huán)繞在所述電子源外，用于根據(jù)輸入電壓，對所述電子施加正偏壓，收集電子，確定電子電流，或?qū)﹄x子施加負偏壓，收集離子，確定離子電流。使用位于同一襯底上的電子源和多個環(huán)形電極能夠減小電離真空傳感器的體積和質(zhì)量；使用片上電子源能夠降低耗能和產(chǎn)熱，從而減少放氣；通過從多個環(huán)繞在所述電子源外的環(huán)形電極中選擇兩個，能夠選擇量程范圍；由于能夠采用微納加工的加工方式大批量的制備，因此能夠提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。