將高斯光束整形為平頂光束的衍射光學(xué)元件及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310319483.7 申請日 -
公開（公告）號 CN103399406B 公開（公告）日 2015-07-29
申請公布號 CN103399406B 申請公布日 2015-07-29
分類號 G02B27/09(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 王曉峰;潘嶺峰 申請（專利權(quán)）人 北京潤和微光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京萬象新悅知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 北京潤和微光科技有限公司
地址 100084 北京市海淀區(qū)清華科技園創(chuàng)業(yè)大廈1005A
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種新的實現(xiàn)高斯轉(zhuǎn)平頂?shù)难苌涔鈱W(xué)元件，簡稱DOE，并提供了所述DOE的制備方法。在石英基片中心處制備不同形狀、不同尺寸的凹槽或臺階，而后將DOE置于光路中的不同位置，與擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡以及聚焦透鏡配合，實現(xiàn)平頂光束。本發(fā)明所涉及DOE具有以下幾個突出優(yōu)點(diǎn)：能量透過率高，對入射激光模式變化較不敏感，安裝使用簡單、靈活。