一種鉻版濕法清洗工藝干燥用異丙醇蒸汽回流裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202110707598.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN113418383A | 公開(公告)日 | 2021-09-21 |
申請公布號 | CN113418383A | 申請公布日 | 2021-09-21 |
分類號 | F26B21/14(2006.01)I;F26B9/06(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 干燥; |
發(fā)明人 | 李珍;陳曦;李弋舟 | 申請(專利權(quán))人 | 湖南智信微電子科技有限公司 |
代理機構(gòu) | 廈門原創(chuàng)專利事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 魏思凡 |
地址 | 410129湖南省長沙市中國(湖南)自由貿(mào)易試驗區(qū)長沙片區(qū)泉塘街道東六路南段90號長沙未來智匯園11棟101 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明涉及一種鉻版濕法清洗工藝干燥用異丙醇蒸汽回流裝置,包括蒸汽干燥槽體與加熱板,所述加熱板安裝于蒸汽干燥槽體的底部,所述蒸汽干燥槽體的頂部開設(shè)有矩形開口,矩形開口長邊所對應(yīng)的兩側(cè)壁內(nèi)設(shè)有進氣腔,進氣腔的下端設(shè)有通孔與蒸汽干燥槽體內(nèi)腔相通,進氣腔靠近蒸汽干燥槽體內(nèi)腔的側(cè)壁上端安裝有第一中空冷凝板,所述第一中空冷凝板的上下兩端分別設(shè)有第一排水管與第一進水管,所述第一進水管與第一排水管均貫穿蒸汽干燥槽體側(cè)壁,所述第一排水管的側(cè)壁上設(shè)有負壓支管;本發(fā)明提供的鉻版濕法清洗工藝干燥用異丙醇蒸汽回流裝置能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體基片干燥過程中IPA蒸汽的循環(huán)利用,減少IPA的損耗,具有客觀的經(jīng)濟效益,適宜進一步推廣應(yīng)用。 |
