一種透明導(dǎo)電基板及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110618135.4 申請日 -
公開(公告)號 CN113363303A 公開(公告)日 2021-09-07
申請公布號 CN113363303A 申請公布日 2021-09-07
分類號 H01L27/32;H01L27/15;H01L31/0392;H01L31/18;H01J11/34;H01J17/49;G02F1/1343;G06F3/041;C23C14/18;C23C14/24;C23C14/34;C23C28/02;C25D5/54 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 盧虎賁;李珍;李弋舟 申請(專利權(quán))人 湖南智信微電子科技有限公司
代理機構(gòu) 廈門原創(chuàng)專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 魏思凡
地址 410129 湖南省長沙市中國(湖南)自由貿(mào)易試驗區(qū)長沙片區(qū)泉塘街道東六路南段90號長沙未來智匯園11棟101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種透明導(dǎo)電基板包括:玻璃基板,第一導(dǎo)電層,單質(zhì)金導(dǎo)電層。所述單質(zhì)金導(dǎo)電層的圖案可根據(jù)需要進行設(shè)計。本發(fā)明還提供了所述的透明導(dǎo)電基板制備方法,準備表面干燥潔凈的玻璃基板,在所述玻璃基板一側(cè)濺射純鉻,涂膠,曝光,顯影,蒸鍍,得到具有蒸鍍種子層的基板,根據(jù)設(shè)計的圖形用電鍍的方法在單質(zhì)金導(dǎo)電種子層的基礎(chǔ)上長出單質(zhì)金導(dǎo)電層,去膠、腐蝕得到透明的導(dǎo)電基板。