圖案化藍(lán)寶石襯底的制作工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210158040.X 申請日 -
公開（公告）號 CN103426980B 公開（公告）日 2018-02-13
申請公布號 CN103426980B 申請公布日 2018-02-13
分類號 H01L33/00;G03F7/00;G03F7/20 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 梁紅凱;王宏;谷戰(zhàn)智 申請（專利權(quán)）人 吉林省九洲光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 王戈
地址 136000 吉林省四平市鐵東經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)南寧路7979號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種圖形化感應(yīng)偶合電漿藍(lán)寶石襯底的制作方法。該制作工藝包括如下步驟：對待藍(lán)寶石襯底基板進(jìn)行清潔處理；將藍(lán)寶石與所述襯底對準(zhǔn)安裝，并將所述正面按設(shè)定距離設(shè)置勻膠涂佈在基板上；1.3根據(jù)預(yù)設(shè)的曝光條件進(jìn)行投影曝光；對曝光后的襯底進(jìn)行顯影處理；對顯影后的襯底進(jìn)行干刻處理，將襯底表面的光刻膠作為刻蝕的掩膜；設(shè)定感應(yīng)偶合電漿刻蝕腔的溫度和真空度、以及冷卻循環(huán)機(jī)的控制溫度后，將干刻處理后的襯底放入刻蝕腔中的載片基臺上；通入感應(yīng)偶合電漿刻蝕氣體對襯底進(jìn)行刻蝕，通過輸出頻源和折射頻源功率控制刻蝕速度和質(zhì)量；同時通過所述冷卻循環(huán)機(jī)對所述載片基臺進(jìn)行冷卻。我們以感應(yīng)偶合電漿藍(lán)寶石襯底的制作方法，將大大提高生產(chǎn)率、圖形一致性、成品率高且工藝穩(wěn)定。