一種LED外延結(jié)構(gòu)及生長(zhǎng)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011042155.3 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112151647B 公開(公告)日 2022-03-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN112151647B 申請(qǐng)公布日 2022-03-01
分類號(hào) H01L33/06(2010.01)I;H01L33/26(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;C23C16/30(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王杰;馮磊;徐平 申請(qǐng)(專利權(quán))人 湘能華磊光電股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)沙七源專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 張勇;周曉艷
地址 423038湖南省郴州市白露塘有色金屬產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種LED外延結(jié)構(gòu),包括襯底以及依次層疊設(shè)置在襯底上的第一半導(dǎo)體層、超晶格層、發(fā)光層及第二半導(dǎo)體層;超晶格層包括至少一個(gè)超晶格單體,超晶格單體為依次層疊設(shè)置的SiInN層和SiInGaN層或者是依次層疊設(shè)置的AlInGaN層、SiInN層和SiInGaN層;應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)方案,效果是:通過(guò)設(shè)置超晶格層能有效釋放第一半導(dǎo)體層的應(yīng)力,同時(shí)提高電子和空穴的復(fù)合效率;本發(fā)明還公開了一種LED外延生長(zhǎng)方法,包括依次在襯底上生長(zhǎng)第一半導(dǎo)體層、超晶格層、發(fā)光層和第二半導(dǎo)體層;超晶格層包括至少一個(gè)超晶格單體,超晶格單體能限制從第一半導(dǎo)體內(nèi)注入的電子,同時(shí)能夠讓電子在LED傳送通道上分散開來(lái),便于向發(fā)光層提供源源不斷的電子。