一種控制基板漲縮的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810037055.8 申請日 -
公開（公告）號 CN108463054A 公開（公告）日 2018-08-28
申請公布號 CN108463054A 申請公布日 2018-08-28
分類號 H05K3/00 分類 其他類目不包含的電技術;
發(fā)明人 袁晉 申請（專利權）人 江西芯創(chuàng)光電有限公司
代理機構 寧波市鄞州甬致專利代理事務所（普通合伙） 代理人 黃宗熊
地址 343800 江西省吉安市萬安縣工業(yè)園二期(江西合力泰萬安分公司實訓基地B棟)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種控制基板漲縮的方法，無需增加材料成本，或者額外投資設備或治具，就能夠較好地控制漲縮，其方案為，S1、獲取基板在不同濕度和不同溫度情況下的漲縮規(guī)律，根據(jù)漲縮規(guī)律得到第一溫度、第一濕度、烘干溫度、第二濕度和第二溫度；S2、在基板清洗時使基板在第一溫度下達到第一濕度；S3、清洗后進行烘干，在所述的烘干溫度下改變基板濕度，使基板達到第二濕度，烘干完成取出，降至第二溫度即獲得所需基板。