單晶硅片清洗裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021812409.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213079309U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213079309U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-30 |
| 分類(lèi)號(hào) | B08B3/02;B08B3/08;B08B1/04;B08B13/00 | 分類(lèi) | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 向菊 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 深圳市羿烽科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 重慶百潤(rùn)洪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 郝艷平 |
| 地址 | 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道桃源社區(qū)前進(jìn)二路134號(hào)錦聯(lián)大廈A708 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于單晶硅片清洗技術(shù)領(lǐng)域，提供了單晶硅片清洗裝置，包括臺(tái)面傾斜設(shè)置的支撐臺(tái)，所述支撐臺(tái)的中心位置開(kāi)設(shè)有滾動(dòng)槽，滾動(dòng)槽從高處到低處依次設(shè)置有放置工位、物理清洗工位、化學(xué)清洗工位和取出工位，所述放置工位上固定安裝有用于推動(dòng)單晶硅片的第一推動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述物理清洗工位設(shè)置有用于阻擋單晶硅片的第一伸縮機(jī)構(gòu)和用于頂出單晶硅片的第一頂出機(jī)構(gòu)，所述化學(xué)清洗工位設(shè)置有用于阻擋單晶硅片的第二伸縮機(jī)構(gòu)，所述取出工位設(shè)置有用于頂出單晶硅片的彈性頂出機(jī)構(gòu)，所述支撐臺(tái)的兩側(cè)對(duì)稱(chēng)地安裝有第一側(cè)板和第二側(cè)板。本實(shí)用新型的單晶硅片清洗裝置，在不需要兩側(cè)翻面的情況下，一次性完成清洗，簡(jiǎn)化清洗過(guò)程。 |
