一種單晶硅片的雙面拋光裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021901917.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213081112U 公開（公告）日 2021-04-30
申請公布號 CN213081112U 申請公布日 2021-04-30
分類號 B24B31/10;B24B31/12;B24B47/00 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 向菊 申請（專利權(quán)）人 深圳市羿烽科技有限公司
代理機構(gòu) 重慶百潤洪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 郝艷平
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道桃源社區(qū)前進二路134號錦聯(lián)大廈A708
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型新型涉及一種單晶硅片的雙面拋光裝置，包括用于盛放磨削液的液體容器；液體容器底部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部；液體容器內(nèi)設(shè)置有第一渦輪；渦輪與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部相接，液體容器上側(cè)設(shè)置有硅片托盤；硅片托盤設(shè)置有硅片夾持機構(gòu)；硅片托盤上側(cè)連接有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)；旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括第一主軸和第二主軸；第一主軸和第二主軸之間通過反轉(zhuǎn)齒輪箱相接；第一主軸上設(shè)置第二渦輪；硅片托盤設(shè)置于第二主軸底部。本實用新型通過在第二主軸外側(cè)固定連接第二渦輪，第二主軸與第一主軸反向轉(zhuǎn)動，使第二渦輪的轉(zhuǎn)動方向與硅片托盤的轉(zhuǎn)動方向相反，由于第二渦輪位于硅片托盤的上方，第二渦輪可以對單晶硅片的上表面形成反向轉(zhuǎn)動的高速水流，對單晶硅片的上表面進行拋光。