一種單晶硅片拋光液回收過濾裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021860422.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213965526U 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN213965526U 申請公布日 2021-08-17
分類號 B01D36/02（2006.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 向菊 申請（專利權）人 深圳市羿烽科技有限公司
代理機構 重慶百潤洪知識產權代理有限公司 代理人 郝艷平
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道桃源社區(qū)前進二路134號錦聯大廈A708
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及單晶硅片加工技術領域，特別涉及一種單晶硅片拋光液回收過濾裝置，包括機體，所述機體中設有離心濾筒，所述離心濾筒頂部固定連接有驅動裝置，所述離心濾筒底部中心穿設有排渣管，所述排渣管的下端穿出所述機體連接有進水管，所述機體的上部穿設有出液管，所述離心濾筒與所述機體內壁之間設有過濾裝置。與現有技術相比，本實用新型提供的一種單晶硅片拋光液回收過濾裝置，結構設置合理，將拋光液經過雙重過濾后回收利用，過濾比較徹底，拋光液依次通過離心濾筒進行初步過濾，及通過環(huán)形篩板進行二次過濾，極大提高過濾效率，同時擾動機體內部水流，避免雜物大量附著于離心濾筒表面，具有廣闊市場價值。