用于箱體間的密封定位臺(tái)
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201220725961.5 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN203131019U | 公開(公告)日 | 2013-08-14 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN203131019U | 申請(qǐng)公布日 | 2013-08-14 |
分類號(hào) | F16J15/06(2006.01)I | 分類 | 工程元件或部件;為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施;一般絕熱; |
發(fā)明人 | 王奉瑾 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 北京科普斯特自動(dòng)化儀表有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 深圳中一專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人 | 張全文 |
地址 | 528400 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)興業(yè)路2號(hào)4樓 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型涉及密封定位臺(tái)的設(shè)計(jì)領(lǐng)域,尤其涉及用于箱體間的密封定位臺(tái)。本實(shí)用新型提供了用于箱體間的密封定位臺(tái),包括定位座和若干密封夾緊組件,在所述定位座上設(shè)置定位槽,通過定位槽實(shí)現(xiàn)對(duì)并排的各箱體的基本定位;在所述定位槽上開設(shè)成對(duì)設(shè)置于定位槽兩側(cè)壁的卡槽,配合卡條的使用,一方面可實(shí)現(xiàn)對(duì)各箱體的夾緊定位作用,一方面可使本實(shí)用新型的密封定位臺(tái)能夠適應(yīng)不同箱體個(gè)數(shù)的定位需求;通過密封夾緊組件的密封作用,實(shí)現(xiàn)兩相鄰箱體之間縫隙的密封。其采用結(jié)構(gòu)簡潔的設(shè)計(jì)方式,實(shí)現(xiàn)了并排設(shè)置的箱體間的定位和密封的設(shè)計(jì)效果,可適應(yīng)不同工藝需求的半導(dǎo)體制造流程的要求,為實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體集成密封制造系統(tǒng)的模塊化提供必要的準(zhǔn)備與前提。 |
