一種增加能量閉鎖效益的石英壓電晶片及晶圓
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202020206680.3 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN211183922U | 公開(公告)日 | 2020-08-04 |
申請公布號 | CN211183922U | 申請公布日 | 2020-08-04 |
分類號 | H03H9/19(2006.01)I;H03H1/00(2006.01)I | 分類 | - |
發(fā)明人 | 李宗杰 | 申請(專利權(quán))人 | 廣東惠倫晶體科技股份有限公司 |
代理機構(gòu) | 廣東莞信律師事務(wù)所 | 代理人 | 鐘宇宏 |
地址 | 523000廣東省東莞市黃江鎮(zhèn)黃江東環(huán)路68號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型提供一種增加能量閉鎖效益的石英壓電晶片及晶圓,該晶圓包括陣列排布的石英壓電晶片,所述石英壓電晶片具有一基底,所述基底一端的上表面與下表面對稱設(shè)置有凹槽,所述凹槽中部設(shè)置有凸臺,所述凸臺的高度小于凹槽的深度。該石英壓電晶片具有凹槽式雙凸臺晶體結(jié)構(gòu),凸臺與基底邊緣之間的凹槽區(qū)域形成晶片第一能陷區(qū);凸臺為晶片的主振蕩區(qū),且凸臺的高度小于凹槽的深度,形成晶片的第二能陷區(qū);所以,該石英壓電晶片的凹槽式雙凸臺結(jié)構(gòu)在晶片上形成了雙重能陷效果,大幅度增加了晶片的能量閉鎖效益,從而降低了整個晶片的阻抗,最終使得整個晶振具有非常好的低頻物理特性。?? |
