一種增加能量閉鎖效益的石英壓電晶片及晶圓

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020206680.3 申請日 -
公開(公告)號 CN211183922U 公開(公告)日 2020-08-04
申請公布號 CN211183922U 申請公布日 2020-08-04
分類號 H03H9/19(2006.01)I;H03H1/00(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 李宗杰 申請(專利權(quán))人 廣東惠倫晶體科技股份有限公司
代理機構(gòu) 廣東莞信律師事務(wù)所 代理人 鐘宇宏
地址 523000廣東省東莞市黃江鎮(zhèn)黃江東環(huán)路68號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種增加能量閉鎖效益的石英壓電晶片及晶圓,該晶圓包括陣列排布的石英壓電晶片,所述石英壓電晶片具有一基底,所述基底一端的上表面與下表面對稱設(shè)置有凹槽,所述凹槽中部設(shè)置有凸臺,所述凸臺的高度小于凹槽的深度。該石英壓電晶片具有凹槽式雙凸臺晶體結(jié)構(gòu),凸臺與基底邊緣之間的凹槽區(qū)域形成晶片第一能陷區(qū);凸臺為晶片的主振蕩區(qū),且凸臺的高度小于凹槽的深度,形成晶片的第二能陷區(qū);所以,該石英壓電晶片的凹槽式雙凸臺結(jié)構(gòu)在晶片上形成了雙重能陷效果,大幅度增加了晶片的能量閉鎖效益,從而降低了整個晶片的阻抗,最終使得整個晶振具有非常好的低頻物理特性。??