用真空中頻感應(yīng)爐冶煉高純工業(yè)硅的方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201910574762.5 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN110371983B | 公開(公告)日 | 2019-10-25 |
申請公布號 | CN110371983B | 申請公布日 | 2019-10-25 |
分類號 | C01B33/037(2006.01)I | 分類 | 無機(jī)化學(xué); |
發(fā)明人 | 吉紅旗;周濟(jì);李延偉 | 申請(專利權(quán))人 | 陜西寶德賽肯光電材料有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 西安弘理專利事務(wù)所 | 代理人 | 杜娟 |
地址 | 710201陜西省西安市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)涇渭新城渭華路北段12號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了用真空中頻感應(yīng)爐冶煉高純工業(yè)硅的方法,采用造粒機(jī)對金剛線切割硅片產(chǎn)生的硅鋸末料進(jìn)行造粒,再對其進(jìn)行烘干處理,得到硅粒;采用真空中頻感應(yīng)爐對硅粒依次進(jìn)行熔煉、加料、搗料及澆注處理,制得高純工業(yè)硅。本發(fā)明用真空中頻感應(yīng)爐冶煉高純工業(yè)硅的方法,在密閉真空環(huán)境下實現(xiàn)連續(xù)自動進(jìn)料、連續(xù)真空熔煉、連續(xù)澆注,避免了大氣進(jìn)入高溫熔煉區(qū)氧化含硅鋸末料,確保了工業(yè)硅的高純度;且整個制備過程不產(chǎn)生廢渣、廢氣,避免了大氣污染。?? |
