用真空中頻感應(yīng)爐冶煉高純工業(yè)硅的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910574762.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN110371983A 公開(kāi)(公告)日 2019-10-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN110371983A 申請(qǐng)公布日 2019-10-25
分類號(hào) C01B33/037(2006.01)I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 吉紅旗; 周濟(jì); 李延偉 申請(qǐng)(專利權(quán))人 陜西寶德賽肯光電材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安弘理專利事務(wù)所 代理人 陜西寶德賽肯光電材料有限公司
地址 710201 陜西省西安市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)涇渭新城渭華路北段12號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了用真空中頻感應(yīng)爐冶煉高純工業(yè)硅的方法,采用造粒機(jī)對(duì)金剛線切割硅片產(chǎn)生的硅鋸末料進(jìn)行造粒,再對(duì)其進(jìn)行烘干處理,得到硅粒;采用真空中頻感應(yīng)爐對(duì)硅粒依次進(jìn)行熔煉、加料、搗料及澆注處理,制得高純工業(yè)硅。本發(fā)明用真空中頻感應(yīng)爐冶煉高純工業(yè)硅的方法,在密閉真空環(huán)境下實(shí)現(xiàn)連續(xù)自動(dòng)進(jìn)料、連續(xù)真空熔煉、連續(xù)澆注,避免了大氣進(jìn)入高溫熔煉區(qū)氧化含硅鋸末料,確保了工業(yè)硅的高純度;且整個(gè)制備過(guò)程不產(chǎn)生廢渣、廢氣,避免了大氣污染。