導(dǎo)電薄膜方塊電阻多探針測量頭

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921439542.3 申請日 -
公開（公告）號 CN210487867U 公開（公告）日 2020-05-08
申請公布號 CN210487867U 申請公布日 2020-05-08
分類號 G01R27/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉相華 申請（專利權(quán)）人 麥嶠里（上海）半導(dǎo)體科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 上海驍象知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 麥嶠里（上海）半導(dǎo)體科技有限責(zé)任公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)盛夏路608號2幢506室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種導(dǎo)電薄膜方塊電阻多探針測量頭，涉及薄膜檢測技術(shù)領(lǐng)域，所解決的是提升邊緣測量能力的技術(shù)問題。該測量頭包括探頭座，其特征在于：所述探頭座上設(shè)有5個探針，該5個探針分別為第一探針、第二探針、第三探針、第四探針、第五探針；所述第一探針、第二探針、第三探針、第四探針依序等間距直線排列；所述第一探針、第四探針、第五探針布設(shè)成等腰三角形的形狀，并且第五探針位于在等腰三角形的頂角部，第一探針、第四探針分別位于等腰三角形的兩底角部。本實用新型提供的測量頭，用于導(dǎo)電薄膜的測量。