晶圓導(dǎo)電薄膜加工設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921167181.1 申請日 -
公開（公告）號 CN209804602U 公開（公告）日 2019-12-17
申請公布號 CN209804602U 申請公布日 2019-12-17
分類號 H01L21/66（2006.01） 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉相華 申請（專利權(quán)）人 麥嶠里（上海）半導(dǎo)體科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 上海驍象知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 麥嶠里（上海）半導(dǎo)體科技有限責(zé)任公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)盛夏路608號2幢506室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種晶圓導(dǎo)電薄膜加工設(shè)備，涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，所解決的是提高膜厚測量精度的技術(shù)問題。該系統(tǒng)包括工藝腔、傳送腔，所述工藝腔中設(shè)有膜厚處理裝置，所述傳送腔上設(shè)有兩個裝載盒，傳送腔內(nèi)設(shè)有晶圓預(yù)對準(zhǔn)裝置、機(jī)械手；所述晶圓預(yù)對準(zhǔn)裝置包括預(yù)對準(zhǔn)底座，及安裝在預(yù)對準(zhǔn)底座上的旋轉(zhuǎn)托盤，預(yù)對準(zhǔn)底座上設(shè)有旋轉(zhuǎn)電機(jī)；所述預(yù)對準(zhǔn)底座上固定有橫梁，橫梁上設(shè)有能沿旋轉(zhuǎn)托盤的徑向滑動的渦電流傳感器，并且渦電流傳感器位于旋轉(zhuǎn)托盤的上方，橫梁上設(shè)有用于導(dǎo)引渦電流傳感器滑動的導(dǎo)軌，及用于驅(qū)動渦電流傳感器滑動的橫移驅(qū)動部件。本實(shí)用新型提供的系統(tǒng)，適用于晶圓導(dǎo)電薄膜的加厚或減薄。