導(dǎo)電薄膜多探針測量裝置及其測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010062468.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111077373A 公開（公告）日 2020-04-28
申請公布號 CN111077373A 申請公布日 2020-04-28
分類號 G01R27/02;G01R1/067;G01R1/073;G01N27/04 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉相華;胡振賢 申請（專利權(quán)）人 麥嶠里（上海）半導(dǎo)體科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 上海驍象知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 麥嶠里（上海）半導(dǎo)體科技有限責(zé)任公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)盛夏路608號2幢506室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種導(dǎo)電薄膜多探針測量裝置及其測量方法，涉及薄膜檢測技術(shù)領(lǐng)域，所解決的是控制探針力的技術(shù)問題。該裝置包括測量基座、探頭座；所述探頭座上設(shè)有多根探針，每根探針上都設(shè)有彈性加力部件，所述測量基座上設(shè)有能上下活動的活動座，并且在測量基座上設(shè)有用于驅(qū)使活動座向上回位的彈性回位部件，所述探頭座固定在活動座上；所述測量基座上設(shè)有推桿，及用于驅(qū)動推桿上下滑動的推桿驅(qū)動部件，推桿的下端抵住活動座，推桿上設(shè)有用于檢測推桿所承受的豎向壓力的壓力傳感器。本發(fā)明提供的裝置及方法，適用于測量導(dǎo)電薄膜方塊電阻。