一種抑制動態(tài)干涉儀中波片延遲誤差干擾的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110952404.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113405489A 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN113405489A 申請公布日 2021-09-17
分類號 G01B11/25（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陶春 申請（專利權(quán)）人 南京施密特光學(xué)儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州科權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 盧平
地址 211212江蘇省南京市溧水區(qū)東屏街道工業(yè)集中區(qū)金港路16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種抑制動態(tài)干涉儀中波片延遲誤差干擾的方法，其涉及光干涉計量技術(shù)領(lǐng)域，旨在解決軟件歸一化過程本身勢必會干擾到正常相位的結(jié)果，造成測量結(jié)果不精確的問題，其技術(shù)方案要點是實驗準(zhǔn)備，將標(biāo)準(zhǔn)值內(nèi)的二分之一波片和四分之一波片安裝在動態(tài)干涉儀內(nèi)部，放置待測件，調(diào)整動態(tài)干涉儀，使得相機(jī)采集的四幅干涉圖呈密集條紋分布，灰度平均值計算，計算四幅圖像灰度平均值的均方根值，并多次計算保證整體獲得最佳值，調(diào)節(jié)測算，手動或者通過電機(jī)自動旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)二分之一波片，并實時計算圖像灰度平均值的均方根值，當(dāng)該值小于設(shè)定閾值時，停止調(diào)整二分之一波片。達(dá)到了多降低誤差、多次測算取平均值和方便調(diào)節(jié)的效果。