碳化硅反射鏡改性加工與檢測控制系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011240214.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113021121A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113021121A 申請公布日 2021-06-25
分類號 B24B13/00;B24B13/005;B24B49/16;B24B41/00;B24B49/12;B24B57/02;B24B41/04 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 陶春 申請（專利權(quán)）人 南京施密特光學(xué)儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京金寧專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張希睿
地址 211212 江蘇省南京市溧水區(qū)東屏鎮(zhèn)工業(yè)區(qū)金港路16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及碳化硅反射鏡改性加工與檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體的來講是一種碳化硅反射鏡改性加工與檢測控制系統(tǒng)及方法，通過加工單元對碳化硅反射鏡整體打磨，拋光單元的粗拋光、細(xì)拋光以及面型改進(jìn)單元利用磁控濺射鍍膜完成碳化硅反射鏡的改性加工，每一步驟結(jié)束后啟動精度檢測單元分別采用精度不同的面型檢測模塊和零位補(bǔ)償干涉檢測模塊對碳化硅反射鏡的精度進(jìn)行檢測以保證輸出質(zhì)量。