一種抑制動(dòng)態(tài)干涉儀中波片延遲誤差干擾的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110952404.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113405489B 公開（公告）日 2021-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN113405489B 申請(qǐng)公布日 2021-11-02
分類號(hào) G01B11/25（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 陶春 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京施密特光學(xué)儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州科權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 盧平
地址 211212江蘇省南京市溧水區(qū)東屏街道工業(yè)集中區(qū)金港路16號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種抑制動(dòng)態(tài)干涉儀中波片延遲誤差干擾的方法，其涉及光干涉計(jì)量技術(shù)領(lǐng)域，旨在解決軟件歸一化過(guò)程本身勢(shì)必會(huì)干擾到正常相位的結(jié)果，造成測(cè)量結(jié)果不精確的問(wèn)題，其技術(shù)方案要點(diǎn)是實(shí)驗(yàn)準(zhǔn)備，將標(biāo)準(zhǔn)值內(nèi)的二分之一波片和四分之一波片安裝在動(dòng)態(tài)干涉儀內(nèi)部，放置待測(cè)件，調(diào)整動(dòng)態(tài)干涉儀，使得相機(jī)采集的四幅干涉圖呈密集條紋分布，灰度平均值計(jì)算，計(jì)算四幅圖像灰度平均值的均方根值，并多次計(jì)算保證整體獲得最佳值，調(diào)節(jié)測(cè)算，手動(dòng)或者通過(guò)電機(jī)自動(dòng)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)二分之一波片，并實(shí)時(shí)計(jì)算圖像灰度平均值的均方根值，當(dāng)該值小于設(shè)定閾值時(shí)，停止調(diào)整二分之一波片。達(dá)到了多降低誤差、多次測(cè)算取平均值和方便調(diào)節(jié)的效果。