一種大數(shù)值孔徑的像方遠(yuǎn)心物鏡和飛點掃描干涉儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110919983.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113721353A 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN113721353A 申請公布日 2021-11-30
分類號 G02B13/22（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 趙效楠;彭思龍;汪雪林;顧慶毅;杜向麗;李強 申請（專利權(quán)）人 蘇州中科行智智能科技有限公司
代理機構(gòu) 北京市廣友專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 張仲波
地址 215124江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道88號人工智能產(chǎn)業(yè)園E1棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種一種大數(shù)值孔徑的像方遠(yuǎn)心物鏡及飛點掃描干涉儀，用于高掃描要求的應(yīng)用需求問題。包括：物鏡由6片球面鏡組成，入瞳位置放置在物鏡的物方焦平面位置，滿足像方遠(yuǎn)心光路，第一球面透鏡的焦距與物鏡的焦距的比值大于等于?4且小于等于?0.5；第三球面透鏡的焦距與物鏡的焦距的比值大于等于1且小于等于3；第五球面透鏡的焦距與物鏡的焦距的比值大于等于?1.2且小于等于?0.4。這樣的物鏡的干涉儀具有較高分辨率，大的接收鏡面反射角，能夠更好的滿足掃描成像的應(yīng)用需求。