半導(dǎo)體裝置用聚酰亞胺樹(shù)脂組合物及使用其的半導(dǎo)體裝置中的膜形成方法和半導(dǎo)體裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110046077.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102167905B 公開(kāi)（公告）日 2015-11-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN102167905B 申請(qǐng)公布日 2015-11-18
分類號(hào) C08L79/08(2006.01)I;C08J5/18(2006.01)I;C09D11/102(2014.01)I;C09D179/08(2006.01)I;H01L23/29(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I 分類 有機(jī)高分子化合物；其制備或化學(xué)加工；以其為基料的組合物;
發(fā)明人 五島敏之;瀨川繁昌;M.S.溫;山下潤(rùn)一;高梨健 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 株式會(huì)社PI技術(shù)研究所
代理機(jī)構(gòu) 中國(guó)專利代理（香港）有限公司 代理人 株式會(huì)社PI技術(shù)研究所;三菱電機(jī)株式會(huì)社
地址 安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)天門路以西錦繡大道以南天門湖工業(yè)園1#廠房2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 提供具有最適于絲網(wǎng)印刷、分配涂布的流變學(xué)特性，與各涂布基板的潤(rùn)濕性提高，可以進(jìn)行500次以上的連續(xù)印刷，在印刷、涂布后，干燥、固化時(shí)不會(huì)產(chǎn)生起泡、凹陷、針孔，可以覆蓋規(guī)定部分的半導(dǎo)體裝置用聚酰亞胺樹(shù)脂組合物以及使用該聚酰亞胺樹(shù)脂組合物的半導(dǎo)體裝置中的膜形成方法和具有通過(guò)該方法形成的膜作為絕緣膜、保護(hù)膜等的半導(dǎo)體裝置。半導(dǎo)體裝置用聚酰亞胺樹(shù)脂組合物，為在第一有機(jī)溶劑(A)和第二有機(jī)溶劑(B)的混合溶劑中含有聚酰亞胺樹(shù)脂的樹(shù)脂組合物，所述聚酰亞胺樹(shù)脂是可溶于第一有機(jī)溶劑(A)和第二有機(jī)溶劑(B)的混合溶劑中的耐熱性聚酰亞胺樹(shù)脂，聚酰亞胺的重復(fù)單元中含有烷基和/或全氟烷基，具有觸變性。