三角形金剛石刀具角度高精度自動測量系統(tǒng)和測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910312125.7 申請日 -
公開（公告）號 CN101718536A 公開（公告）日 2010-06-02
申請公布號 CN101718536A 申請公布日 2010-06-02
分類號 G01B11/26(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張效東;房豐洲;楊朝鵬;盧永斌 申請（專利權）人 天津微納制造技術有限公司
代理機構 天津市北洋有限責任專利代理事務所 代理人 程毓英
地址 300072 天津市南開區(qū)衛(wèi)津路92號天津大學
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于光學測量和加工技術領域，涉及一種基于柔性測頭的超精密原位測量裝置，包括柔性測頭、傳像光纖、耦接鏡、高精密轉(zhuǎn)臺和光學三維測量系統(tǒng)，所述柔性測頭被置于高精密轉(zhuǎn)臺上，其中心位于轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸的軸線上，柔性測頭采集的被測面圖像，依次通過傳像光纖、耦接鏡被傳送至光學三維測量系統(tǒng)。本發(fā)明同時提供一種利用該測量裝置實現(xiàn)的超精密加工方法。本發(fā)明的測量裝置，可以延長并縮減光學測量系統(tǒng)，并且能夠?qū)崿F(xiàn)大曲率面形的測量和超精密加工補償。