基于納米測量與傾斜掃描白光干涉微結(jié)構(gòu)測試系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010274207.X 申請日 -
公開（公告）號 CN101975559A 公開（公告）日 2011-02-16
申請公布號 CN101975559A 申請公布日 2011-02-16
分類號 G01B11/24(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 郭彤;馬龍;陳津平;傅星;胡小唐 申請（專利權(quán)）人 天津微納制造技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 代理人 杜文茹
地址 300000 天津市濱海新區(qū)經(jīng)濟(jì)技開發(fā)區(qū)第四大街80號A2-316
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種基于納米測量與傾斜掃描白光干涉微結(jié)構(gòu)測試系統(tǒng)及方法，系統(tǒng)有圖像采集卡，數(shù)字CCD攝像機(jī)，顯微光學(xué)系統(tǒng)，干涉物鏡，可調(diào)傾斜工作臺，PC機(jī)，納米測量機(jī)，工作臺傾斜控制器，通過光纖向顯微光學(xué)系統(tǒng)提供光源的白光光源，PC機(jī)還分別連接圖像采集卡和工作臺傾斜控制器。方法是在納米測量機(jī)的工作平臺上固定可調(diào)傾斜工作臺，將被測樣品至于其上，由PC機(jī)控制納米測量機(jī)帶動(dòng)可調(diào)傾斜工作臺沿其傾斜角度完成掃描，CCD數(shù)字?jǐn)z像機(jī)采集圖像并由圖像采集卡傳至PC機(jī)進(jìn)行后續(xù)處理；對于采集的圖像進(jìn)行追蹤并進(jìn)行干涉信號的提取后，進(jìn)行零級干涉條紋的位置進(jìn)行定位，最終確定表面形貌。本發(fā)明為無損的檢測，消除了光源熱效應(yīng)的影響，可以實(shí)現(xiàn)0.1nm的位移分辨力。