一種基于原子力顯微鏡的模塊式激光輔助平臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010145034.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111257600A 公開（公告）日 2020-06-09
申請公布號 CN111257600A 申請公布日 2020-06-09
分類號 G01Q60/24(2010.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 卓少木;張嘉榮;鄧建南;朱相優(yōu) 申請（專利權(quán)）人 廣州精點科技有限公司
代理機構(gòu) 北京化育知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 廣州精點科技有限公司;廣東工業(yè)大學(xué)
地址 510006廣東省廣州市番禺區(qū)小谷圍街大學(xué)城廣東工業(yè)大學(xué)3號、5號、6號樓首層自編之B124之1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于AFM可自動調(diào)節(jié)光斑大小的方法及其激光輔助平臺，主要應(yīng)用于原子力顯微鏡的光電流的檢測，其中主要包括激光器、光束準直器、光束擴束器、光束整形器、光束輸出器、Y手動位移臺、XZB位移模組、樣品臺。所述的激光器發(fā)出的激光，經(jīng)過光束準直器、光束擴束器、光束整形器、光束輸出器之后將會匯聚成一個焦點，焦點光斑將打在樣品的表面，激發(fā)樣品產(chǎn)生光電流反應(yīng)，光斑大小可由算法自動調(diào)節(jié)，并附與手動微調(diào)位移臺，實現(xiàn)光斑大小和位置的精準控制。??