濺鍍膜和干膜的壓合方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110980065.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113427887A 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN113427887A 申請公布日 2021-09-24
分類號 B32B37/12（2006.01）I;B32B37/10（2006.01）I;B32B37/06（2006.01）I;H01L21/56（2006.01）I 分類 層狀產(chǎn)品;
發(fā)明人 楊勝吉 申請（專利權(quán)）人 常州欣盛半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州至善至誠專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王穎
地址 213000江蘇省常州市武進(jìn)區(qū)潞橫路2288號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種濺鍍膜和干膜的壓合方法，包括以下步驟：S1：在濺鍍膜和干膜之間涂覆粘合劑，濺鍍膜覆蓋在干膜下方；S2：將經(jīng)過步驟S1處理的濺鍍膜和干膜一起送入上熱壓輪和下熱壓輪之間，此時，濺鍍膜靠近下熱壓輪，干膜靠近上熱壓輪，干膜位于第一凹槽和第二凹槽之間；S3：上熱壓輪和下熱壓輪對濺鍍膜和干膜進(jìn)行壓合處理。本發(fā)明的濺鍍膜和干膜的壓合方法，能夠改善干膜兩側(cè)的溢膠粘附在上熱壓輪的表面以及碳化的溢膠會破壞濺鍍膜和上熱壓輪表面的問題，提升產(chǎn)品的良率。