COF載帶烘烤流道及烘烤方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111010130.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113441368A 公開（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113441368A 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) B05D3/04（2006.01）I;H01L21/56（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 蔡水河;趙昱豪 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州欣盛半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州至善至誠專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱麗莎
地址 213000江蘇省常州市武進(jìn)區(qū)潞橫路2288號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種COF載帶烘烤流道及烘烤方法，包括：兩個(gè)流道組件，兩個(gè)流道組件均位于烘烤箱內(nèi)，兩個(gè)流道組件上承載有沿第一方向輸送的COF載帶，兩個(gè)流道組件相互平行，兩個(gè)流道組件關(guān)于COF載帶對(duì)稱布置，兩個(gè)流道組件之間的距離小于COF載帶的寬度，流道組件的正投影與COF載帶的正投影存在交集，流道組件的上表面具有多個(gè)凸起部，多個(gè)凸起部沿第一方向均勻布置，COF載帶的下表面與多個(gè)凸起部相接觸，相鄰兩個(gè)凸起部與COF載帶之間形成通道，通道用以供烘烤箱內(nèi)的熱風(fēng)通過。本發(fā)明的凸起部，減少了與COF載帶的接觸面積，降低了產(chǎn)生靜電的概率；熱風(fēng)從相鄰?fù)蛊鸩颗cCOF載帶之間的通道流動(dòng)，避免了熱風(fēng)吹拂COF載帶時(shí)，熱風(fēng)無法及時(shí)溢出，導(dǎo)致COF載帶晃動(dòng)的問題。