清除COF載帶表面金屬異物的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111044595.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113477627A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113477627A 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) B08B7/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 蔡水河;黃煜程 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州欣盛半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州至善至誠(chéng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱麗莎
地址 213000江蘇省常州市武進(jìn)區(qū)潞橫路2288號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種清除COF載帶表面金屬異物的方法，采用清潔裝置，清潔裝置包括支架組件及磁鐵，支架組件架設(shè)在軌道上，磁鐵安裝在支架組件上，軌道上設(shè)有COF載帶，磁鐵的長(zhǎng)度方向與COF載帶的傳送方向垂直。清除COF載帶表面金屬異物的方法包括以下步驟：S1：將支架組件安裝在軌道上，再將磁鐵安裝在支架組件上，此時(shí)，磁鐵位于COF載帶的上方；S2：當(dāng)COF載帶在軌道上傳送時(shí)，磁鐵能夠吸附COF載帶表面的金屬異物，使得COF載帶的表面保持清潔。本發(fā)明將支架組件架設(shè)在軌道的兩端，磁鐵安裝在支架組件上，在COF載帶的傳送過(guò)程中，磁鐵能夠吸附COF載帶表面的金屬異物，使得COF載帶表面保持清潔，減少異常的發(fā)生。